本文標題:"表面微觀形貌測量技術(shù)與儀器技術(shù)簡介"
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表面微觀形貌測量技術(shù)與儀器技術(shù)簡介
近年來隨著表面形貌研究的深入,又出現(xiàn)了許多新的評價表面
形貌的方法,特定功能參數(shù)集法,功率譜密度法,以及利用小波變
換方法來分析表征表面形貌等。
現(xiàn)代測量技術(shù)和計算機技術(shù)的發(fā)展,使測量和描述表面微觀形
貌更為簡單方便。目前,表面微觀形貌測量技術(shù)與儀器技術(shù)主要有
兩個分支:一是以觸針法為代表的接觸測量法;另一種是非接觸測
量法,主要是通過光學技術(shù)/電子來獲得表面形貌的信息。另外近
幾年發(fā)展起來的掃描隧道顯微技術(shù)和原子力顯微技術(shù)也被用來作為
測量超光滑表面微觀形貌的工具,使得表面形貌測量技術(shù)達到了分
子、原子尺度。
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