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本文標題:"超光滑表面微觀形貌檢測儀器分析電子顯微鏡"

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超光滑表面微觀形貌檢測儀器分析電子顯微鏡

 
     超光滑表面微觀形貌檢測儀器分析與選擇
 
    目前,超精密表面形貌的測量與評定已成為國內外學者研究的
重要方向。由于近年超精密表面測量儀器和測量方法的逐步完善,
使得納米級表面測量技術快速發展起來,但是隨之問題也逐漸暴露
出來。由于對超精密表面的檢測沒有統一的標準和測量儀器,用不
同測量儀器檢測的結果差異很大,無法斷定哪一種方法測得的表面
形貌更接近真實表面、可信度更高。因此,需要對常用檢測超精密
表面微觀形貌的方法與儀器原理、性能進行分析論述,分析這幾種
測量儀器的誤差成因.空問分辨率及適用范圍,以期能找到滿足測
量要求的儀器,得到比較可靠的測量結果,為準確地測量超精密表
面提供依據。
 

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