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本文標題:"微元件尺寸測量影像測量儀廠商-光學式測量顯微鏡"

發布者:yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間:2013-5-9 17:48:26

 

什么是複合壓力微感測元件

 
複合壓力微感測元件,根據矽半導體微加工技術,
 
單一感測體包含四組惠斯頓感測電橋,每一組電橋有四個壓阻感測器分佈于量測薄膜上,薄膜厚度為20 μ m ,寬度為120 μ m ,
 
元件最佳應力響應值為0.417MPa/mmHg ,最大量測范圍為300mmHg ,模擬靈敏度可達77.17 μ V/V/㎜Hg ,
 
完成之微元件尺寸為6.5 ㎜×6 ㎜×0.7 ㎜。微感測體個別壓阻值量測誤差小于3%;當溫度介于25 ℃~55 ℃時,
電阻值對溫度之非線性度誤差小于2%,可應用于醫療診斷,亦可應用于產業與日常生活相關之力與壓力之感測與量測。

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