本文標題："金屬材料及微元件表面輪廓測量儀器-測量工具顯微鏡"
發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------
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金屬材料及微元件表面輪廓測量儀器-測量工具顯微鏡
一種新式的摩爾(Moiré)輪廓術之量測方法用于微元件之量測。
使用光柵片產生正弦條紋結構光并結合由電腦產生之虛擬光柵互相疊加產生摩爾條紋影像。
此方法的優點在于可以藉由調整虛擬光柵之周期來改變產生之摩爾條紋的周期，也因為其優越的調變性在量測時可避免階高量測范圍之限制。
不過有一個問題存在于摩爾條紋影像中，即兩個不同周期之條紋結構光進行疊加時，除了疊加的摩爾條紋部分以外，未疊加之高頻條紋結構光亦會殘留于影像上，
使摩爾投光量測法受到影響。為了解決此問題，本研究提出了藉由光柵片產生之條紋結構光經投射至物體表面所產生之變形結構光，
與電腦產生之具相同相位之虛擬光柵進行四步相移進行疊加，如此可獲得一清晰之摩爾條紋影像，
同時，經投射至物體表面所產生之變形條紋結構光再與經相移(分別為pi/2, pi, 3pi/2)之虛擬光柵分別進行上述之疊加演算，
如此可建立具四步相移之清晰摩爾條紋影像。由實驗結果證明，從標準件上多次階高塊之重復性量測結果得知，
所發展之系統在一個量測標準差均可低于1μm，且量測精密度與Keyence VK-9700掃描顯微鏡相比，
兩者之間之最大相異度在2%以下，相較于傳統四步相移法量測之精確度亦提升1%以上，顯示本研究所提出量測方法之優越性。
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