本文標(biāo)題："接觸式AFM電子顯微鏡儀器的優(yōu)點(diǎn)有哪些"
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接觸式AFM電子顯微鏡儀器的優(yōu)點(diǎn)有哪些
掃描探針顯微術(shù)
(Scanning Probe Microscopy, SPM)
? 材料制造尺寸已由微米、次微米，逐漸發(fā)展至奈米級(jí)精密處理，高解析表面分析技術(shù)為重要關(guān)鍵技術(shù)之一。
? 掃描探針顯微術(shù)(SPM)具有原子級(jí)表面形狀解析度，并可檢測(cè)多種奈米級(jí)表面特性如力學(xué)特性、電性、磁性、熱性等等。
? 優(yōu)點(diǎn)為儀器體積小，樣品無(wú)需特殊處理，可在任何環(huán)境下進(jìn)行測(cè)量。
SPM除了極佳的影像解析度外，它對(duì)試片表面高度之起伏非常敏感，所以亦常用在偵測(cè)表面起伏之剖面形貌、鍍層之表面粗糙度……等。
一般說(shuō)來(lái)，試樣表面高低差若在10nm以?xún)?nèi)，則以SEM來(lái)檢測(cè)會(huì)因表面太過(guò)平滑而看不到影像，此種情況，可選用SPM來(lái)作檢測(cè)。AFM
的操作模式可分為三種:接觸式、非接觸式及輕敲式(TappingMode)。由于接觸式偵測(cè)的是探針與樣品間原子的排斥力，而排斥力
對(duì)距離非常敏感，所以接觸式AFM較容易獲得原子解析度．而其他兩種模式則相當(dāng)困難
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