本文標題:"測量光學儀靜止-測量額外的振動和空氣湍流"
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測量光學儀靜止-測量額外的振動和空氣湍流
環境條件
環境條件(尤其是溫度系數)可以影響激光波長的參考值,因此
影響測量精度。環境的溫度、壓力和相對濕度都屬于眾多一般因素
中應盡可能解決的環境因素。此外,環境參數的變化也可能導致在
校準和補償階段有不適當的幾何誤差補償,不同的環境條件得到不
同的機械幾何特性。雖然它們的影響在機器上可能會是隨機的,但
是它們可以在一定程度上得到補償。
CMM(坐標測量機)和機床的熱效應可以使機械的結構產生非常
復雜的特性。它們有不同的來源,包括不直接與機械相關的操作,
如房間溫度、光源和液壓系統等。為了盡量減少熱膨脹效應,就必
須讓機械和光學儀溫度穩定,然后才能測量。良好的環境溫度調節
可能是必要的,這取決于應用程序和要求。雖然可以近似補償,但
全部由電腦熱補償是非常困難的。一階熱效應建模與補償更現實和
適合實際情況。一階熱校正需要每軸至少有一個傳感器。使用多個
幾何誤差模型來反映幾何學中的熱效應,每一個模型在特定的工作
溫度范圍內是有效的。
測量光學儀靜止時,額外的振動和空氣湍流可以由測量結果的
隨機漂移來確定。也可以由漂移的增加或連續運行使光學部件間距
離的增加來確定它們的影響。防止影響的方法是確保所有設備的剛
性固定和支撐,并利用足夠的通風設備讓空氣充分流通。
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