本文標(biāo)題："顯微鏡測(cè)量覆層厚度-光學(xué)儀器測(cè)量覆層顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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顯微鏡測(cè)量覆層厚度-光學(xué)儀器測(cè)量覆層顯微鏡
(1)放大倍數(shù)在任何給定覆層厚度情況下，測(cè)量誤差隨
鏡頭放大倍數(shù)的減小而增大，通常選擇顯微鏡的放大倍數(shù)應(yīng)使視
場(chǎng)直徑是覆層厚度的1.5一3倍，并要求與在整個(gè)視場(chǎng)中的放大倩
數(shù)一致。在通過光電轉(zhuǎn)換和放大的光學(xué)儀器中，放大倍數(shù)的穩(wěn)定是
十分重要的，電子電路不穩(wěn)定將會(huì)產(chǎn)生很大的誤差。對(duì)此，一般。
疵增加校正次數(shù)，而且測(cè)量操作應(yīng)在校正后的短暫時(shí)問內(nèi)進(jìn)行。
(2)載物臺(tái)測(cè)微器的校正 載物臺(tái)測(cè)微器必須經(jīng)過檢定單
位嚴(yán)格校正，否則將會(huì)造成誤差。
(3)目鏡測(cè)微器的校正 目鏡測(cè)微器應(yīng)經(jīng)過嚴(yán)格校正，否
則也會(huì)帶來誤差，且目鏡測(cè)微器產(chǎn)生誤差還與操作人員有關(guān)，通
常目鏡測(cè)微器由測(cè)量人員自己進(jìn)行校正。
(4)間隙校正在調(diào)整目鏡測(cè)微器時(shí)，由于測(cè)微器傳動(dòng)閫．
隙的存在，測(cè)微器正反向旋轉(zhuǎn)讀數(shù)可能不一樣而產(chǎn)生誤差，對(duì)此．
應(yīng)以同一方向旋轉(zhuǎn)進(jìn)行分度對(duì)準(zhǔn)以減少誤差．
(5)分劃板十字線的對(duì)準(zhǔn) 在利用光學(xué)儀器測(cè)量覆層厚度
時(shí)，一般用目鏡分劃板十字線的一側(cè)和覆縣兩邊界對(duì)準(zhǔn)，這樣可
以減小由于十字線對(duì)不準(zhǔn)所產(chǎn)生的誤差。
(6)目鏡位置 目鏡每次置于鏡筒內(nèi)位置不同，即置入深“
度變化，則有可能導(dǎo)致放大倍數(shù)的變化。若測(cè)量和校準(zhǔn)儀器目鐃
位置不同，顯然會(huì)導(dǎo)致誤差。在雙筒目鏡情況下，如果兩眼瞳孔
(7)記錄圖紙穩(wěn)定性 隨著環(huán)境溫度和濕度的變化，記錄
圖紙會(huì)發(fā)生變形，記錄圖形位置也會(huì)有所變化，若利用該種匝
紙、圖形來確定覆層厚度，也將會(huì)帶來誤差。
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