本文標題:"微小尺寸透鏡放大式量儀有投影儀和光學顯微鏡"
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微小尺寸透鏡放大式量儀有投影儀和光學顯微鏡
透鏡放大式
透鏡放大式量儀有投影儀和顯微鏡,在顯微鏡中使用光電顯微鏡測量
以前使用的投影儀都是靠人工測 測原理
量,其測量方法是,用刻度尺直接量被物鏡放大了的、投影到
屏上的影象,或者利用旋轉載物臺的測微鼓輪測量。
這種測量變為主動測量,在影屏上,二維地配置許多光電元
件,用這些光龜元件測量被放大了的投影工件的輪廓,并且進
行光電轉換。這些光電元件是按零件公稱值配置的,用作比較
測量,求其偏差。或者按電視的方法掃描整個影屏,用追蹤
輪廓明暗線條等方法來實現主動測量。為了減少影象的偵
斜,可采用遠心光路照明
在微小尺寸和微小位移的測量中,又有兩種情況:①測量
的絕對值是表面各段微小尺寸差,②用比較法測量被測件與
標準件之差。不論是測量微小尺寸的絕對值,還是比較測量微
小長度差,量儀檢測微小長度的機能都是相同的.通常把這
種測量儀稱為比較測量儀。
在大尺寸和大位移測量中,是用標準尺等直接測量被測
件,即由標準尺等指示出測量值。通常把這種測量儀稱為指
示測量儀。
因此,把微小長度及微小位移的測量統稱為比較測量,把
大尺寸、大位移的測量統稱為指示測量,又稱絕對測量。
光學主動測量即光電轉換法.主要是通過光電轉換把測
得的光量轉換成電量。
幾何光學測量法
這種測量方法,包括光學杠桿式(很早就用于精密測量)
及透鏡放大式,這兩種方法都屬于被動測量法。
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