本文標題:"取樣樣品輪廓圖分析用微小形狀檢測用光學顯微鏡"
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取樣樣品輪廓圖分析用檢測顯微鏡
輪廓波形象表面本身一樣是很復雜的,是各個發生的頻
率結合起來的總和所形成的,輪廓圖則是其可看見的表象。
用肉眼來區別頻率是不容易的,最多只能找出少數幾個有規
則重復的微觀不平度形成的頻率,但復雜的波形經過電技術
處理就能將各個形成的頻率都分析出來。
放大器的波段寬度總是比記錄器的大,所以這個因素無
需在這里考慮。‘放大器的頻率反應可以(和經常)通過濾
波器加以改變.使用濾波器來減少高些或低些的頻率的相對
波幅,就有可能分辨出波形中的粗糙度和波紋度的構成成
分,
采用濾波器也必須取一個適當的截取波長值,這相當于在
表面上選擇一個適當的取樣長度。
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