本文標題："工件輪廓的非接觸式光學量測影像測量儀器-顯微鏡廠家"
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工件輪廓的非接觸式光學量測影像測量儀器
提供一種用光學與影像處理方式對輪廓複雜的工件，
進行快速、精確且為非接觸式的量測方法。
工件輪廓的非接觸式光學量測方法，包含一個架設光源、發(fā)散物鏡、準直透鏡，及成像屏幕的光學檢測系統(tǒng)架設步驟
一個將標準工件置于光學檢測系統(tǒng)中擷取繞射圖像并轉(zhuǎn)換成繞射條紋數(shù)位資料的比對資料建立步驟
、
一個將待量測的工件置于該標準工件放置的位置以擷取繞射圖像并轉(zhuǎn)換成待測繞射條紋數(shù)位資料的量測步驟，
及一個計算該待測繞射條紋數(shù)位資料與比對繞射條紋數(shù)位資料的差值并將差值轉(zhuǎn)換成一輪廓瑕疵影像的資料比對分析步驟，
本發(fā)明在不需接觸工件而不虞產(chǎn)生破壞性接觸的狀況下，快速且精密的量測得到工件輪廓。
本發(fā)明之目的，即在提供一種非接觸式、可以快速進行精密量測、
且可以同時于生產(chǎn)加工線上進行的工件輪廓的非接觸式光學量測方法。
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