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本文標題："多種不同功能的量測工具顯微鏡-微小振動的量測"

發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------ 人瀏覽過-----時間：2013-9-23 17:34:4

多種不同功能的量測工具顯微鏡-微小振動的量測

然而原先使得遠場光學顯微鏡加值的技術(如共焦術、光子穿隧顯微術、干涉術等)卻沒有充分地

與近場光學技術結合，因此本計畫主要提出將嘗試結合近場光學術(near-fieldmicroscopy)、

光子穿隧顯微術(photontunnelingmicroscopy)、干涉術(interferometry)三大技術，

經由對前項技術做更詳細的討論后，提出創(chuàng)新整合架構來達成全新的量測系統，

以求能有機會以光學顯微系統來實現納米結構微小振動的量測。

建構一套結構剛性佳且穩(wěn)定性高的基礎顯微鏡架構，開發(fā)多項功能以求同時能承載多種不同功能的量測系統；

共焦光學顯微鏡與光子穿隧顯微鏡，即是以一傳統的反射式光學顯微鏡為基礎，

將共焦光學顯微鏡之光路系統架構于其中，同時也以同一顯微鏡基礎，

利用光子穿隧效應接近近場光學顯微術的架構，研制了光子穿隧顯微鏡，

提供了一套擁有雙重功能的顯微鏡系統。通常一套共焦光學顯微鏡或光子穿隧顯微鏡，

在半導體廠用于檢測薄膜厚度的橢偏儀，亦是需要花費數百萬之譜，

因此，想要同時擁有數種不同的精密量測設備

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